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1、百级无尘车间进风系统要设备新风过滤箱、净化空调（分为初效、中效、高效三个过滤器）结束有高效送风口。必要时还装净化增压箱；
2、6163银河com回风系统：回风口、过滤初效器、中效回风箱；
3、进入6163银河com前先进入缓冲区，缓冲区门设备电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机；
4、人、货品进入6163银河com须经过风淋室（货淋室），传递窗传递小物品；
5、在6163银河com部分需求抵达10-1000级当地设备垂直层流作业台、层流罩（FFU）、洁净棚（可移式净化作业棚）、自净器。测无尘室洁净度用激光尘土粒子计数器。
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